- 클린룸 제조공정에서 수율개선을 위한 입자오염제어 방법
- ㆍ 저자명
- 노광철,이현철,김대영,오명도,Noh. Kwang-Chul,Lee. Hyeon-Cheol,Kim. Dae-Young,Oh. Myung-Do
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|31권 6호|pp.522-530 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
