- PZT를 이용한 Semi-inchworm구동기법의 초정밀 회전 스테이지 개발
- Development of ultra precision rotational stage using Semi-inchworm driving mechanism with PZT
- ㆍ 저자명
- 윤덕원,안강호,한창수,Yun. Deok-Won,Ahn. Kang-Ho,Han. Chang-Soo
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 1호|pp.37-41 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
