- SFC로 설계된 공정제어에서 개선된 단일 시퀀스 제어 방법
- Improved Method of Single Sequence Control in Process Control designed by SFC
- ㆍ 저자명
- 유정봉,김민영,전호익,You. Jeong-Bong,Kim. Min-Young,Jeon. Ho-Ik
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 2호|pp.1-4 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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