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비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의한 비정질 질화탄소 박막의 합성 및 윤활 특성
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  • 비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의한 비정질 질화탄소 박막의 합성 및 윤활 특성
저자명
박용섭,조형준,최원석,홍병유,Park. Yong-Seob,Cho. Hyung-Jun,Choi. Won-Seok,Hong. Byung-You
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2007년|20권 8호|pp.701-705 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The incorporation of N in a-C film is able to improve the friction coefficient and the adhesion to various substrates. In this study, a-C:N films were deposited on Si and steel substrates by closed-field unbalanced magnetron (CFUBM) sputtering system in $Ar/N_2$ plasma. The lubricant characteristics was investigated for a-C:N deposited with total working pressure from 4 to 7 mTorr. We obtained high hardness up to 24GPa, friction coefficient lower than 0.1 and the smooth surface of having the extremely low roughness (0.16 nm). The physcial properties of a-C:N thin film are related to the increase of cross-linked $sp^2$ bonding clusters in the film. However, the decrease of hardness, elastic modulus and the increase of surface roughness, friction coefficient with the increase of $N_2$ partial pressrue might be due to the effect of energetic ions as a result of the increase of ion bombardment with the increase of ion density in the plasma.