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고품질 AlN 박막으로 제작한 압전 마이크로스피커
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  • 고품질 AlN 박막으로 제작한 압전 마이크로스피커
저자명
이승환,정경식,김동기,신광재,Yi. Seung-Hwan,Jung. Kyung-Sick,Kim. Dong-Kee,Shin. Gwang-Jae
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2007년|56권 8호|pp.1455-1460 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper reports the piezoelectric microspeakers that are audible in open air with high quality piezoelectric AlN thin film deposited onto Mo/Ti electrode. This successful achievement, compared to the previous results, is followed by manipulating two material properties: the one is to use a compressively stressed silicon nitride film as a supporting diaphragm (even tensile stressed, around +20 MPa) and the another is to use high quality AlN thin film with compressive residual stress (less than -100 MPa). With these materials, the Sound Pressure Level (SPL) of the fabricated micro speakers shows more than 60 dB from 100 Hz to 15 kHz and the highest SPL is about 100 dB at 9.3 kHz with 20 Vpeak-to-peak sinusoidal input and with 10 mm distances from the fabricated micro speakers to the reference microphone (B&K Type 2669 & 4192L).