- 355nm UV 레이저를 이용한 AZ5214와 SU-8 포토레지스트 어블레이션에 관한 연구
- A Study on the Ablation of AZ5214 and SU-8 Photoresist Processed by 355nm UV Laser
- ㆍ 저자명
- 오재용,신보성,김호상,Oh. J.Y.,Shin. B.S.,Kim. H.S.
- ㆍ 간행물명
- 한국레이저가공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|10권 2호|pp.17-24 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국레이저가공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
