기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
3D Nano Object Recognition based on Phase Measurement Technique
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 3D Nano Object Recognition based on Phase Measurement Technique
  • 3D Nano Object Recognition based on Phase Measurement Technique
저자명
Kim. Dae-Suk,Baek. Byung-Joon,Kim. Young-Dong,Javidi. Bahram
간행물명
Journal of the Optical Society of Korea
권/호정보
2007년|11권 3호|pp.108-112 (5 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Spectroscopic ellipsometry (SE) has become an important tool in scatterometry based nano-structure 3D profiling. In this paper, we propose a novel 3D nano object recognition method by use of phase sensitive scatterometry. We claims that only phase sensitive scatterometry can provide a reasonable 3D nano-object recognition capability since phase data gives much higher sensitive 3D information than amplitude data. To show the validity of this approach, first we generate various $0^{th}$ order SE spectrum data ($psi$ and ${Delta}$) which can be calculated through rigorous coupled-wave analysis (RCWA) algorithm and then we calculate correlation values between a reference spectrum and an object spectrum which is varied for several different object 3D shape.