- 반도체 제조공정용 탄화규소 부품/소재 기술
- ㆍ 저자명
- 박상환,이동윤,한재호,윤성호,조경선,Park. Sang-Hwan,Lee. Dong-Yun,Han. Jae-Ho,Yun. Seong-Ho,Jo. Gyeong-Seon
- ㆍ 간행물명
- 세라미스트
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|10권 4호|pp.38-53 (16 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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