기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Novel Patterning of Gold Using Spin-Coatable Gold Electron-Beam Resist
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Novel Patterning of Gold Using Spin-Coatable Gold Electron-Beam Resist
  • Novel Patterning of Gold Using Spin-Coatable Gold Electron-Beam Resist
저자명
Kim. Ki-Chul,Lee. Im-Bok,Kang. Dae-Joon,Maeng. Sung-Lyul
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2007년|29권 6호|pp.814-816 (3 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Conventional lithography methods of gold patterning are based on deposition and lift-off or deposition and etching. In this letter, we demonstrate a novel method of gold patterning using spin-coatable gold electron-beam resist which is functionalized gold nanocrystals with amine ligands. Amine-stabilized gold electron beam resist exhibits good sensitivity, 3.0 mC/$cm^2$, compared to that of thiol-stabilized gold electron beam resists. The proposed method reduces the number of processing steps and provides greater freedom in the patterning of complex nanostructures.