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  • Laser bonding using liquid glass
저자명
김주한,이제훈,김향태,Kim. Joo-Han,Lee. Jae-Hoon,Kim. Hyang-Tae
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2008년|11권 3호|pp.1-4 (4 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A selective laser micro bonding process using liquid glass (methylsilsesquioxane) was developed and the results are analysed. The liquid glass can be solidified with Nd:YAG laser irradiation and it can be applied for joining two glass substrates. A bonding thickness of a few micrometers can be achieved. The appropriate laser power density (or this process is around 40-60 $kW/cm^2$ and its bonding force is 1000-1200 $gf/mm^2$. This process can be applied for bonding micro devices such as micro bio-sensors or display products. Its advantages and limitations are presented and discussed.