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글루코오스 농도 측정을 위한 볼로미터 타입의 적외선 센서 제작
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  • 글루코오스 농도 측정을 위한 볼로미터 타입의 적외선 센서 제작
저자명
최주찬,정호,박건식,박종문,구진근,강진영,공성호,Choi. Ju-Chan,Jung. Ho,Park. Kun-Sik,Park. Jong-Moon,Koo. Jin-Gun,Kang. Jin-Yeong,Kong. Seong-Ho
간행물명
센서학회지
권/호정보
2008년|17권 4호|pp.250-255 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A vanadium pentoxide ($V_2O_5$)-based bolometric infrared (IR) sensor has been designed and fabricated using micro electro mechanical systems (MEMS) technology for glucose detection and its resistive characteristics has been illustrated. The proposed bolometric infrared sensor is composed of the vanadium pentoxide array that shows superior temperature coefficient of resistance (TCR) and standard silicon micromachining compatibility. In order to achieve the best performance, deposited $V_2O_5$ thin film is optimized by adequate rapid thermal annealing (RTA) process. Annealed vanadium oxide thin film has demonstrated a linear characteristic and relatively high TCR value (${-4}%/^{circ}C$). The resistance of vanadium oxide is changed by IR intensity based on glucose concentration.