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데이터 배선 용량 최소화를 위한 비정질 실리콘 박막 트렌지스터 배열의 최적화 설계와 구현
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  • 데이터 배선 용량 최소화를 위한 비정질 실리콘 박막 트렌지스터 배열의 최적화 설계와 구현
저자명
김창원,윤정기,김선용,김종효,Kim. C.W.,Yoon. J.K.,Kim. S.Y.,Kim. J.H.
간행물명
Journal of biomedical engineering research : the official journal of the Korean Society of Medical & Biological Engineering
권/호정보
2008년|29권 5호|pp.392-399 (8 pages)
발행정보
대한의용생체공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Thin-film transistor (TFT) arrays for an x-ray detector require quite different design concept from that of the conventional active-matrix liquid crystal devices (AM-LCDs). In this paper anew design of TFT array which uses only SiNx for passivation layer is described to meet the detector performance and the product availability simultaneously. For the purpose of optimizing the design parameters of the TFT array, a Spice simulation was performed. As a result, some parameters, such as the TFT width, the data line capacitance, and the storage capacitance, were able to be fixed. The other parameters were decided within a permissible range of the TFT process especially the photolithography process and the wet etch process. Then we adapted the TFT array which had been produced by the proposed design to our prototype model (FDXD-1417 and evaluated it clinically by comparing with a commercial model (EPEX, Hologic, Beford, USA). The results say that our prototype model is slightly better than EPEX system in chest PA images. So we can prove the technical usefulness and the commercial values of the proposed TFT design.