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Si 종형 Hall 소자의 동작과 잡음 특성
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  • Si 종형 Hall 소자의 동작과 잡음 특성
저자명
류지구,김남호,Ryu. Ji-Goo,Kim. Nam-Ho
간행물명
한국해양정보통신학회논문지
권/호정보
2008년|12권 10호|pp.1890-1896 (7 pages)
발행정보
한국해양정보통신학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구는 칩 표면에 수평 한 자기장을 검출하는 종형 Hall 소자를 바이폴라 기술로 제조하여 동작 및 잡음 특성을 조사하였다. P+ Isolation 댐을 설치한 소자(type B)가 설치하지 않는 소자(type A)보다 자기 감도는 약 1.2배 증가하였고, 역시 잡음도 증가하였다. 측정된 이 종형 Hall소자의 자기 검출 분해능은 f=1[KHz], 대역폭 1[Hz] 구동조건에서 type A는 약 $0.97[{mu}T]$, type B는 $1.25[{mu}T]$였다. 따라서 Hall 소자 구조 설계나 재료적인 면에서 볼 때, 낮은 잡음즉, 자기 검출분해능과 높은 감도 상관관계를 고려하여야 한다.

기타언어초록

In this paper, the Si vertical Hall devices ale fabricated by using standard bipolar process and investigated in terms of the opeating and noise properties. The sensitivity of device with P+ isolation dam(type B) has been increased up to about 1.2 times compared to that device without the dam also noise has been increased. With the condition of f=I[KHz], band-width 1[Hz], the resolution of magnetic-field detection were about $0.97[{mu}T]$/ type B and $1.25[{mu}T]$/ type A, respectively, thus we must consider correlation the low noise or good resolution and high sensitivity in the situation for device geometry design or even for the materials.