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전자현미경 영상을 이용한 나노 비주얼 서보잉
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저자명
최진호,안상정,박병천,유준,Choi. Jin-Ho,Ahn. Sang-Jung,Park. Byong-Chon,Lyou. Joon
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2008년|57권 10호|pp.1876-1882 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Nano manipulator is used to manufacture Carbon NanoTube(CNT) tips. Using nano manipulator, operator attaches a CNT at the apex of Atomic Force Microscope(AFM) tip, which requires a mastery of mechanics and long manufacture time. Nano manipulator is installed inside a Scanning Electron Microscope(SEM) chamber to observe the operation. This paper presents a control scheme for horizontal axes of nano manipulator via processing SEM image. Edges of AFM tip and CNT are first detected, and the position information so obtained is fed to control horizontal axes of nano manipulator. That is, a visual servoing loop is realized to control the axes more precisely in nano scale.