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나노임프린트 리소그래피를 이용한 곡면 기판 위에 정렬된 나노 볼 패턴 형성에 관한 연구
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  • 나노임프린트 리소그래피를 이용한 곡면 기판 위에 정렬된 나노 볼 패턴 형성에 관한 연구
저자명
홍성훈,배병주,곽신웅,이헌,Hong. S.H.,Bae. B.J.,Kwak. S.U.,Lee. H.
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2008년|41권 6호|pp.331-334 (4 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The replica of highly ordered nano-sphere array patterns were fabricated using hot embossing method. First, silica nano-sphere array on Si substrate was transferred to PVC film at $130^{circ}C$ and 7 bar using hot embossing process. Then, silica nano-sphere array on PVC template was removed by soaking the PVC film in buffered oxide etcher. In order to form anti-stiction layer, the PVC template was coated with silicon dioxide layer and self-assembled monolayer. Through UV nanoimprint lithography with the fabricated flexible PVC template, highly ordered nano-sphere array pattern was imprinted on curved substrates with high fidelity.