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SU-8 레진을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정에서 고강성 3 차원 마이크로 형상 제작을 위한 공정 변수 분석
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  • SU-8 레진을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정에서 고강성 3 차원 마이크로 형상 제작을 위한 공정 변수 분석
저자명
손용,임태우,이신욱,공홍진,박상후,양동열,Son. Yong,Lim. Tae-Woo,Yi. Shin-Wook,Kong. Hong-Jin,Park. Sang-Hu,Yang. Dong-Yol
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2008년|25권 1호|pp.130-137 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Two-photon stereolithography (TPS) is recognized as a useful process for the fabrication of three-dimensional microstructures. Recently, the need for a two-photon curable resin with high strength increases as 3-D moicrostructures of high aspect ratio or large scale of several hundreds micrometers are required for applications of nano/micro devices in IT/BT. In this work, process parameters of TPS employing the SU-8 which is a representative two-photon curable resin with high strength have been studied for the precise fabrication of 3-D microstructures with high strength. The pre-baking and post-baking processes are studied and the parameter study of the SU-8 in TPS is conducted. Through this work, very small roughness of 12 nm and the minimum aspect ratio of ${sim}1$ which provides a precise accumulation of layers could be obtained. Using the conditions studied in this work, some 3-D examples are fabricated.