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다결정 SiC 마이크로 공진기의 제작과 그 특성
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  • 다결정 SiC 마이크로 공진기의 제작과 그 특성
저자명
정귀상,이태원,Chung. Gwiy-Sang,Lee. Tae-Won
간행물명
센서학회지
권/호정보
2008년|17권 6호|pp.425-428 (4 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes the resonant characteristics of polycrystalline SiC micro resonators. The $1{mu}m$ thick polycrystalline 3C-SiC cantilevers with different lengths were fabricated using a surface micromachining technique. Polycrystalline 3C-SiC micro resonators were actuated by piezoelectric element and their fundamental resonance was measured by a laser vibrometer in vacuum at room temperature. For the $100{sim}40{mu}m$ long cantilevers, the fundamental frequency appeared at $147.2kHz{sim}856.3kHz$. The $100{mu}m$ and $80{mu}m$ long cantilevers have second mode resonant frequency at 857.5.kHz and 1.14.MHz, respectively. Therefore, polycrystalline 3C-SiC resonators are suitable for RF MEMS devices and bio/chemical sensor applications.