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LTCC 를 이용한 SnO2 가스 센서
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  • LTCC 를 이용한 SnO2 가스 센서
저자명
조평석,강종윤,김선중,김진상,윤석진,이종흔,Cho. Pyeong-Seok,Kang. Chong-Yun,Kim. Sun-Jung,Kim. Jin-Sang,Yoon. Seok-Jin,Lee. Jong-Heun
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 2호|pp.69-72 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A sensor element array for combinatorial solution deposition research was fabricated using LTCC (Low-temperature Co-fired Ceramics). The designed LTCC was co-fired at $800^{circ}C$ for 1 hour after lamination at $70^{circ}C$ under 3000 psi for 30 minutes. $SnO_2$ sol was prepared by a hydrothermal method at $200^{circ}C$ for 3 hours. Tin chloride and ammonium carbonate were used as raw materials and the ammonia solution was added to a Teflon jar. 20 droplets of $SnO_2$ sol were deposited onto a LTCC sensor element and this was heat treated at $600^{circ}C$ for 5 hours. The gas sensitivity ($S;=;R_a/R_g$) values of the $SnO_2$ sensor and 0.04 wt% Pd-added $SnO_2$ sensor were measured. The 0.04 wt% Pd-added $SnO_2$ sensor showed higher sensitivity (S = 8.1) compared to the $SnO_2$ sensor (S = 5.95) to 200 ppm $CH_3COCH_3$ at $400^{circ}C$.