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하부 플레넘 구조물 조건을 고려한 클린룸의 편류 개선 방법
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  • 하부 플레넘 구조물 조건을 고려한 클린룸의 편류 개선 방법
저자명
김영섭,하만영,Kim. Young-Sub,Ha. Man-Yeong
간행물명
설비공학논문집
권/호정보
2008년|20권 1호|pp.17-25 (9 pages)
발행정보
대한설비공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

To achieve the unidirectional airflow in a cleanroom, we need to predict accurately the static pressure losses at the lower plenum and to control properly the opening pressure ratio of access floor panels based on these pressure losses. At first, the present study proposed a correlation to predict the velocity distribution at the lower plenum, because the accuracy to predict pressure losses at the lower plenum depends on how to calculate the velocity correctly against the inner structures at the lower plenum. In the second place, this study proposed correlations which considered the effect of inner structures such as columns, ducts and equipments at the lower plenum on pressure losses. In order to test the accuracy of these correlations, we compared air flow patterns before regulating the opening ratio of access floor with those after regulating. Results after regulating the opening ratio of access floor show good unidirectional uniform airflow pattern. So the present method can be used as an important tool to control the air flow in a cleanroom.