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방전플라즈마 소결법을 이용한 ZnS-SiO2 복합재료의 제조와 기계적 특성
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  • 방전플라즈마 소결법을 이용한 ZnS-SiO2 복합재료의 제조와 기계적 특성
저자명
신대훈,김길수,이영중,조훈,김영도,Shin. Dae-Hoon,Kim. Gil-Su,Lee. Young-Jung,Cho. Hoon,Kim. Young-Do
간행물명
한국분말야금학회지
권/호정보
2008년|15권 1호|pp.1-5 (5 pages)
발행정보
한국분말야금학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

ZnS-$SiO_2$ composite is normally used for sputtering target. In recent years, high sputtering power for higher deposition rate often causes crack formation of the target. Therefore the target material is required that the sintered target material should have high crack resistance, excellent strength and a homogeneous microstructure with high sintered density. In this study, raw ZnS and ZnS-$SiO_2$ powders prepared by a 3-D mixer or high energy ball-milling were successfully densified by spark plasma sintering, the effective densification method of hard-to-sinter materials in a short time. After sintering, the fracture toughness was measured by the indentation fracture (IF) method. Due to the effect of crack deflection by the residual stress occurred by the second phase of fine $SiO_2$, the hardness and fracture toughness reached to 3.031 GPa and $1.014;MPa{cdot}m^{1/2}$, respectively.