- FIB-Sputtering 가공공정기술 및 응용분야 연구
- ㆍ 저자명
- 강은구,최병열,홍원표,이석우,최헌종,Kang. Eun-Goo,Choi. Byoung-Ryul,Hong. Won-Pyo,Lee. Seok-Woo,Choi. Hon-Zong
- ㆍ 간행물명
- 한국정밀공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|25권 3호|pp.23-31 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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