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Application of 532 nm YAG-Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films Deposited on Glass Substrates
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  • Application of 532 nm YAG-Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films Deposited on Glass Substrates
  • Application of 532 nm YAG-Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films Deposited on Glass Substrates
저자명
Lee. Jong-Won,So. Byung-Soo,Chung. Ha-Seung,Hwang. Jin-Ha
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 3호|pp.113-116 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A 532 nm Nd-YAG laser was applied to crystallize amorphous Si thin films in order to evaluate the applicability of a Nd-YAG laser to low-temperature polycrystalline Si technology. The irradiation of a green laser was controlled during the crystallization of amorphous Si thin films deposited onto glass substrates in a sophisticated process. Raman spectroscopy and UV-Visible spectrophotometry were employed to quantify the degree of crystallization in the Si thin films in terms of its optical transmission and vibrational characteristics. The effectiveness of the Nd-YAG laser is suggested as a feasible alternative that is capable of crystallizing the amorphous Si thin films.