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3차원 소자 집적을 위한 Cu-Cu 접합의 계면접착에너지에 미치는 후속 열처리의 영향
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  • 3차원 소자 집적을 위한 Cu-Cu 접합의 계면접착에너지에 미치는 후속 열처리의 영향
저자명
장은정,현승민,이학주,박영배,Jang. Eun-Jung,Hyun. Seung-Min,Lee. Hak-Joo,Park. Young-Bae
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 4호|pp.204-210 (7 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$1.5;{mu}m$-thick copper films deposited on silicon wafers were successfully bonded at $415^{circ}C$/25 kN for 40 minutes in a thermo-compression bonding method that did not involve a pre-cleaning or pre-annealing process. The original copper bonding interface disappeared and showed a homogeneous microstructure with few voids at the original bonding interface. Quantitative interfacial adhesion energies were greater than $10.4;J/m^2$ as measured via a four-point bending test. Post-bonding annealing at a temperature that was less than $300^{circ}C$ had only a slight effect on the bonding energy, whereas an oxygen environment significantly deteriorated the bonding energy over $400^{circ}C$. This was most likely due to the fast growth of brittle interfacial oxides. Therefore, the annealing environment and temperature conditions greatly affect the interfacial bonding energy and reliability in Cu-Cu bonded wafer stacks.