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반도체 제조 설비용 전해 연마된 STS316L 용접강관의 표면 성질 - 전해 조건과 표면 성상의 관계를 중심으로 -
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  • 반도체 제조 설비용 전해 연마된 STS316L 용접강관의 표면 성질 - 전해 조건과 표면 성상의 관계를 중심으로 -
저자명
김기호,조보연,Kim. Ki-Ho,Cho. Bo-Yeon
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2008년|41권 1호|pp.38-42 (5 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

316L stainless steel welding tube was electrolytically polished and the inner surface characteristics of the tube were tested. Electro-polishing variables such as current, voltage, concentration of electrolyte and electropolishing time were changed to seek for optimum condition. These makes a optimum conditions for the electro-polishing as 4000 A, 9 V, 1.7 specific gravity of electrolyte, and 30 minute of electro-polishing time. It makes the surface roughness as Ra < $0.25{mu}m$. XPS test resulted as the ratio of CrO/FeO equals or more to 3/1. AES test resulted as the thickness of CrO film of $38{AA}$. DTA test resulted as the tube did not react with $N_2,;H_2;and;O_2$ gas below 1073K. As summarize above results, the electro- polished 316L stainless steel welding tube satisfied the conditions to apply as a pipeline for semi- conductor production facility and clean room.