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펨토초 레이저 금속 가공시 발생하는 열충격 수치계산 프로그램 개발
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  • 펨토초 레이저 금속 가공시 발생하는 열충격 수치계산 프로그램 개발
  • Development of numerical-computation program to predict thermal shock induced by fs laser processing of meatals
저자명
오부국,김동식,김재구,이제훈,O. Bu-Guk,Kim. Dong-Sik,Kim. Jae-Gu,Lee. Je-Hun
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2008년|11권 1호|pp.19-24 (6 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

It has been recognized that laser dicing of wafers results in low mechanical strength compared to the conventional sawing techniques. Thermal shock generated by rapid thermal loading is responsible for this problem. This work presents a two-dimensional ultra-short thermo elastic model for numerical simulation of femtosecond laser ablation of metals in the high-fluence regime where the phase explosion is dominant. Laser-induced thermoelastic stress is analyzed for Ni. The results show that the laser-induced thermal shock is large enough to induce mechanical damages.