- 반도체용 시간식 질량유량계의 특성에 관한 연구
- An experimental study of the time based mass flow controller for semiconductor industry
- ㆍ 저자명
- 장영철,Chang. Young-Chul
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|7권 2호|pp.55-58 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
