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반도체용 시간식 질량유량계의 특성에 관한 연구
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  • 반도체용 시간식 질량유량계의 특성에 관한 연구
  • An experimental study of the time based mass flow controller for semiconductor industry
저자명
장영철,Chang. Young-Chul
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2008년|7권 2호|pp.55-58 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The objective of the research is to design, manufacture and test a Mass Flow Controller(MFC) capable of measuring compressible fluid flows based on a "bucket and stop-watch"method. The basic principle is the measurement of time, where the time taken to fill and empty a bucket of known volume is measured. This method of flow measurement is a new concept when compared to a commercilized current mass flow controller. For the flow meter to be able to compete with established designs it not only must be comparable in cost and robustness, it must be very accurate and reliable as well. This device should be able to handle fluid flows in the range of 0.1ml/min to 10ml/min within an accuracy of ${pm}$1%. A possible application for a device such as this is in electronics industry where arsenic gas is used in the production of silicon chips.