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$LiNbO_3$ 강유전체를 이용한 MFISFET의 제작 및 특성
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  • $LiNbO_3$ 강유전체를 이용한 MFISFET의 제작 및 특성
저자명
정순원,구경완,Jung. Soon-Won,Koo. Kyung-Wan
간행물명
전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P
권/호정보
2008년|57권 2호|pp.135-139 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

MFISFETs with platinum electrode on the $LiNbO_3$/aluminum nitride/Si(100) structures were successfully fabricated and the properties of the FETs have been discussed. $I_D-V_G$ characteristics of MFISFETs for linear region (that is, 0.1 V of the drain voltage) showed hysteresis loop with a counter-clockwise trace due to the ferroelectric nature of $LiNbO_3$ films. A memory window (i.e., threshold voltage shift) of the fabricated device was about 2[V] for a sweep from -4 to +4[V]. The estimated field-effect electron mobility and transconductance on a linear region were 530[$cm^2/V{cdot}s$] and 0.16[mS/mm], respectively. The drain current of 27[${mu}A$] on the "on" state was more than 3 orders of magnitude larger than that of 30[nA] on the "off" state at the same "read" gate voltage of l.5[V], which means the memory operation of the MFISFET.