- 고속 3차원 측정 및 칼라 이미징을 위한 다중 광탐침 공초점 주사 현미경
- Confocal Scanning Microscopy with Multiple Optical Probes for High Speed 3D Measurements and Color Imaging
- ㆍ 저자명
- 천완회,이승우,안진우,권대갑,Chun. Wan-Hee,Lee. Seung-Woo,Ahn. Jin-Woo,Gweon. Dae-Gab
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|7권 1호|pp.11-16 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
