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고속 3차원 측정 및 칼라 이미징을 위한 다중 광탐침 공초점 주사 현미경
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  • 고속 3차원 측정 및 칼라 이미징을 위한 다중 광탐침 공초점 주사 현미경
  • Confocal Scanning Microscopy with Multiple Optical Probes for High Speed 3D Measurements and Color Imaging
저자명
천완회,이승우,안진우,권대갑,Chun. Wan-Hee,Lee. Seung-Woo,Ahn. Jin-Woo,Gweon. Dae-Gab
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2008년|7권 1호|pp.11-16 (6 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Confocal scanning microscopy is a widely used technique for three dimensional measurements because it is characterized by high resolution, high SNR and depth discrimination. Generally an image is generated by moving one optical probe that satisfies the confocal condition on the specimen. Measurement speed is limited by movement speed of the optical probe; scanning speed. To improve measurement speed we increase the number of optical probes. Specimen region to scan is divided by optical probes. Multi-point information each optical probe points to can be obtained simultaneously. Therefore image acquisition speed is increased in proportion to the number of optical probes. And multiple optical probes from red, green and blue laser sources can be used for color imaging and image quality, i.e., contrast, is improved by adding color information by this way. To conclude, this technique contributes to the improvement of measurement speed and image quality.