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Electrical/Microstructural Characterization of Dielectric Thin Films Prepared on Transparent Substrates
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  • Electrical/Microstructural Characterization of Dielectric Thin Films Prepared on Transparent Substrates
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저자명
You. Iyl-Hwan,Hwang. Jin-Ha
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2008년|7권 1호|pp.53-57 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$Pb(ZrTi)O_3$ thin films were prepared on transparent conducting oxides, through sol-gel processing. The processing variables such as spin velocity, spin time and annealing temperature were investigated using a statistical design of experiments. Dielectric properties were determined through capacitance-voltage measurements and electrical characterizations evaluated using current-voltage characteristics. The leakage currents is determined mainly by annealing. The capacitance and breakdown voltage is found to be independent of the processing variables. The sophisticatedly controlled PZT thin films have been confirmed through microscopic images.