- 진공증착법을 이용한 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막의 압전특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 박수홍,Park. S.H.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|17권 3호|pp.220-225 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 실험은 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막을 제조하고 압전특성을 검토하는데 있다. 또한 압전 특성 분석에서 압전 계수 $d_{33}$와 압전 전압 계수 $g_{33}$는 증착 온도가 $260{sim}300^{circ}C$ 까지는 32.3pC/N에서 36.28pC/N, $793{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$에서 $910.5{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$으로 증가하는 경향을 나타내었다. 이상의 실험 결과로 $300^{circ}C$의 온도에서 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막을 제조 할 때 최적의 특성이 나타남을 알 수 있었다. 반면에 증착온도가 $320^{circ}C$에서 증착한 경우에는 각각 25.3pC/N, $680.3{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$으로 감소하였다.
In this research, the P(VDF-TrFE) copolymer thin films were prepared by the physical vapor deposition and studied to their piezoelectric properties. In the case of a specimen produced by varying the deposition temperature from $260^{circ}C$ to $300^{circ}C$, its piezoelectric coefficient($d_{33}$) increased from 32.3pC/N to 36.28pC/N, and piezoelectric voltage coefficient($g_{33}$) from $793{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$ to $910.5{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$. On the basis of these experimental results, we concluded that the P(VDF-TrFE) copolymer thin film prepared at $300^{circ}C$ showed the optimum piezoelectric properties. At the deposition temperature of $320^{circ}C$, its piezoelectric coefficient(d33) decreased 25.3 pC/N and piezoelectric voltage coefficient($g_{33}$) $680{ imes}10^{-3}V{cdot}m/N$.