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이광자 흡수 광환원 공정을 이용한 마이크로 금속형상 제작의 정밀화에 관한 연구
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  • 이광자 흡수 광환원 공정을 이용한 마이크로 금속형상 제작의 정밀화에 관한 연구
저자명
손용,임태우,양동열,이광섭,Son. Yong,Lim. Tae-Woo,Yang. Dong-Yol,Lee. Kwang-Sup
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2008년|32권 9호|pp.754-760 (7 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A two-photon induced photoreduction process suggests a possibility for fabricating complicated metallic microstructures which can be applied to 3-D micro-circuits and optical devices, etc. The process employs the photoreduction of silver ions in a metallic solution which is composed of metallic salt ($AgNO_3$) and watersoluble polymer ((poly(4-styrenesulfonique acid) 18wt. % in $H_2O$, $(C_8H_8O_3S)_n$)). In this process, the improvement of the resolution and the uniformity of fabricated metallic structures are important issues. To address these problems, continuous forming window (CFW) is obtained from a parametric study on the conditions of laser power and scanning velocity and the direct seed generation (DSG) method is proposed. Silver nano particles are uniformly generated in a metallic solution through the DSG method, which enables the decrease of a laser power to trigger the photoreduction of silver ions as well as the increase of metal contents in a metallic solution. So the two-photon induced photoreduction property of a metallic solution is improved. Through this work, precise silver patterns are fabricated with a minimum line width of 400 nm.