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펄스형 Nd:YAG 레이저를 이용한 FTO 식각에 대한 연구
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  • 펄스형 Nd:YAG 레이저를 이용한 FTO 식각에 대한 연구
저자명
김희제,박성준,손민규,이동길,이경준,Kim. Hee-Je,Park. Sung-Joon,Son. Min-Kyu,Lee. Dong-Kil,Lee. Kyoung-Jun
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2008년|57권 8호|pp.1407-1411 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In material processing, a laser system with optimal laser parameters has been considered to be significant. Especially, the laser scribing technology is thought to be very important for fabricating DSSC(Dye sensitized solar eel!) modules with good quality. Moreover, the $TEM_{00}$ mode laser beam is the most dominant factor to decide the IPCE(Incident photon to current conversion efficiency) characteristics. In order to get the $TEM_{00}$ mode, a pin-hole is inserted within a simple pulsed Nd:YAG laser resonator. And the spatial field distribution is measured by using three size pin-hole diameters of 2.0, 6.0mm respectively. At that moment, each case has the same laser beam energy by adjusting the discharge voltage and pps(pulse per second). From those results, it is known that the pin-hole size of 2.0mm has the perfect $TEM_{00}$ mode. In addition, at the charging voltage of 1000V, 10pps and the feeding speed of 1.11mm/sec, the SEM photo of FTO(Fluorine-doped tin oxide) thin film layers shows the best scribing trace.