- 펄스형 Nd:YAG 레이저를 이용한 FTO 식각에 대한 연구
- ㆍ 저자명
- 김희제,박성준,손민규,이동길,이경준,Kim. Hee-Je,Park. Sung-Joon,Son. Min-Kyu,Lee. Dong-Kil,Lee. Kyoung-Jun
- ㆍ 간행물명
- 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|57권 8호|pp.1407-1411 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
