- 잔류가스분석기 (RGA)의 작동원리
- ㆍ 저자명
- 박창준,Park. C.J.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|17권 4호|pp.262-269 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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진공시스템 안의 잔류가스를 측정하여 공정제어에 이용되는 잔류가스분석기의 주요부품인 이온원, 사중극자질량분석기, 이온검출부의 작동원리와 사용 상 발생될 수 있는 문제점 및 가능한 해결방법을 소개한다.
The residual gas analyzer (RGA) is employed for the process control of a vacuum system by measuring residual gases in it. This review paper introduces operating principles of the RGA and problems that can be encountered during use, together with their possible solutions.