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금속 유도 일측면 선결정화에 의해 제작된 다채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 소자 및 회로의 전기적 특성 평가
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  • 금속 유도 일측면 선결정화에 의해 제작된 다채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 소자 및 회로의 전기적 특성 평가
저자명
황욱중,강일석,임성규,김병일,양준모,안치원,홍순구,Hwang. Wook-Jung,Kang. Il-Suk,Lim. Sung-Kyu,Kim. Byeong-Il,Yang. Jun-Mo,Ahn. Chi-Won,Hong. Soon-Ku
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 9호|pp.507-510 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electrical properties of multi-channel metal-induced unilaterally precrystallized polycrystalline silicon thin-film transistor (MIUP poly-Si TFT) devices and circuits were investigated. Although their structure was integrated into small area, reducing annealing process time for fuller crystallization than that of conventional crystal filtered MIUP poly-Si TFTs, the multi-channel MIUP poly-Si TFTs showed the effect of crystal filtering. The multi-channel MIUP poly-Si TFTs showed a higher carrier mobility of more than 1.5 times that of the conventional MIUP poly-Si TFTs. Moreover, PMOS inverters consisting of the multi-channel MIUP poly-Si TFTs showed high dynamic performance compared with inverters consisting of the conventional MIUP poly-Si TFTs.