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평탄형 접촉 연소식 가스 센서의 특성
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  • 평탄형 접촉 연소식 가스 센서의 특성
저자명
김영복,노효섭,박진성,Kim. Yeong-Bok,Noh. Hyo-Sub,Park. Jin-Seong
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 9호|pp.812-817 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A catalytic combustible sensor for LPG/LNG detection was fabricated on $Al_2O_3$ substrate using planar technology. The catalysts of Pd and Pt were added to ${alpha}$- and ${gamma}-Al_2O_3$ powders. The mixture of Pt, Pd and $Al_2O_3$ were homogenized by using a three roll mixer. TCR characteristics of Pt heater were optimized with the heat treatment temperature. Sensing properties were investigated as a function of the microstructure of $Al_2O_3$, the gas concentration and the variation of input voltage. ${alpha}-Al_2O_3$ sintered at 500 $^{circ}C$ is more suitable as LPG/LNG sensor due to good grain shape and size distribution of about 300 nm than that of ${gamma}-Al_2O_3$ which is in irregular shape and with a particle size of 5-30 ${mu}m$. The sensor has shown maximum output voltage of 14 mV for 1000 ppm $C_4H_{10}$ and 3.8 mV for 1000 ppm $CH_4$ at 5.0 V input voltage.