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전력비 변화에 따른 Au Multilayer 위에 증착한 GZOB 박막의 특성
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  • 전력비 변화에 따른 Au Multilayer 위에 증착한 GZOB 박막의 특성
저자명
이종환,유현규,이규일,이태용,강현일,김응권,송준태,Lee. Jong-Hwan,Yu. Hyun-Kyu,Lee. Kyu-Il,Lee. Tae-Yong,Kang. Hyun-Il,Kim. Eung-Kwon,Song. Joon-Tae
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 11호|pp.977-980 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We investigated the effects of power ratio on the electrical and optical properties of Au based Ga-, B- codoped ZnO(GZOB) thin films. GZOB thin films were deposited on Au based poly carbonate(PC) substrate with various power in the range from 60 to 120 W by DC magnetron sputtering. In the result, GZOB films at 100 W exhibited a low resistivity value of $1.12 imes10^{-3}Omega-cm$, and a visible transmission of 80 % with a thickness of 300 nm. This result indicated that the addition of Ga and B in ZnO films leads to the improvement of conductivity and transparent. From the result, we can confirm the possibility of the application as transparent conductive electrodes.