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SOI CMOS-Based Smart Gas Sensor System for Ubiquitous Sensor Networks
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  • SOI CMOS-Based Smart Gas Sensor System for Ubiquitous Sensor Networks
  • SOI CMOS-Based Smart Gas Sensor System for Ubiquitous Sensor Networks
저자명
Maeng. Sung-Lyul,Guha. Prasanta,Udrea. Florin,Ali. Syed Z.,Santra. Sumita,Gardner. Julian,Park. Jong-Hyurk,Kim. Sang-Hyeob,Moon.
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2008년|30권 4호|pp.516-525 (10 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper proposes a compact, energy-efficient, and smart gas sensor platform technology for ubiquitous sensor network (USN) applications. The compact design of the platform is realized by employing silicon-on-insulator (SOI) technology. The sensing element is fully integrated with SOI CMOS circuits for signal processing and communication. Also, the micro-hotplate operates at high temperatures with extremely low power consumption, which is important for USN applications. ZnO nanowires are synthesized onto the micro-hotplate by a simple hydrothermal process and are patterned by a lift-off to form the gas sensor. The sensor was operated at $200^{circ}C$ and showed a good response to 100 ppb $NO_2$ gas.