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SiO2/Si3N4 터널 절연악의 적층구조에 따른 비휘발성 메모리 소자의 특성 고찰
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  • SiO2/Si3N4 터널 절연악의 적층구조에 따른 비휘발성 메모리 소자의 특성 고찰
저자명
조원주,Cho. Won-Ju
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 1호|pp.17-21 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The electrical characteristics of band-gap engineered tunneling barriers consisting of thin $SiO_2$ and $Si_3N_4$ dielectric layers were investigated for nonvolatile memory device applications. The band structure of band-gap engineered tunneling barriers was studied and the effectiveness of these tunneling barriers was compared with the conventional tunneling $SiO_2$ barrier. The band-gap engineered tunneling barriers composed of thin $SiO_2$ and $Si_3N_4$ layers showed a lower operation voltage, faster speed and longer retention time than the conventional $SiO_2$ tunnel barrier. The thickness of each $SiO_2$ and $Si_3N_4$ layer was optimized to improve the performance of non-volatile memory.