- Metrological Atomic Force Microscope Using a Large Range Scanning Dual Stage
- Metrological Atomic Force Microscope Using a Large Range Scanning Dual Stage
- ㆍ 저자명
- Kim. Jong-Ahn,Kim. Jae-Wan,Kang. Chu-Shik,Eom. Tae-Bong
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|10권 5호|pp.11-17 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
