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Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
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  • Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
저자명
배강,손선영,홍재석,김화민,Bae. Kang,Sohn. Sun-Young,Hong. Jae-Suk,Kim. Hwa-Min
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 11호|pp.969-973 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, the electrical and optical properties of $(SiO_2)_x(ZnO)_{100-x}$ (SZO) films prepared on the coming 7059 glass substrates by using rf-magnetron sputtering method are investigated. The deposition rate becomes maximum near 3 wt.% and gradually decreases when the $SiO_2$ content further increases. The growth rates of the SZO film with $SiO_2$ content of 3 wt.% is $4;{AA}/s$. We found that the average transmittance of all films is over 80% in the wavelength range above 500 nm. The optical band gap were decreased from 3.52 to 3.33 eV as an increase the deposition thickness. X-ray diffraction patterns showed that the film with a relatively low $SiO_2$ content (< 4 wt.%) is amorphous. SZO film with the $SiO_2$ contents of 2 wt.% showed the resistivity of about $3.8{ imes}10^{-3};{Omega}{cdot}cm$. The sheet resistance decreases with increasing the heat treatment temperature.