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페롭스카이트 구조 Sr(Ti1-xFex)O3 후막 가스센서의 특성
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  • 페롭스카이트 구조 Sr(Ti1-xFex)O3 후막 가스센서의 특성
저자명
김광호,이운영,이현규,박진성,Jin. Guang-Hu,Lee. Woon-Young,Lee. Hyun-Gyu,Park. Jin-Seong
간행물명
센서학회지
권/호정보
2009년|18권 6호|pp.456-461 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Perovskite-structure $Sr(Ti_{1-x}Fe_x)O_3$ thick films, in which x is 0.4 or 0.6, were prepared by normal ceramic process on alumina substrate. Electrical resistance was measured as a function of thermal treatment condition including atmosphere, time, and temperature. The resistance of $Sr(Ti_{1-x}Fe_x)O_3$ films is lower than those of $SrTiO_3$ or $SrFeO_3$ films. The temperature coefficient of resistance over $550^{circ}C$ was measured to be 0 for the $Sr(Ti_{1-x}Fe_x)O_3$ films after thermal treatment at $1100^{circ}C$ in air. The sensing property of the films was also measured as a function of temperature and gas such as $O_2$, CO, $CO_2$, NO and $NO_2$. $Sr(Ti_{1-x}Fe_x)O_3$ films showed a good sensing property for $O_2$, but no sensing signal for CO, $CO_2$, NO and $NO_2$.