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DPSS UV Laser와 습식 식각을 이용한 금형강 미세 가공
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  • DPSS UV Laser와 습식 식각을 이용한 금형강 미세 가공
  • Micromachining for plastic mold steel using DPSS UV laser and wet etching
저자명
민경익,김재구,조성학,최두선,황경현,Min. Kyoung-Ik,Kim. Jae-Gu,Cho. Sung-Hak,Choi. Doo-Sun,Whang. Kyung-Hyun
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2009년|12권 3호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes the method for the fabrication of micro dot array on a plastic mold steel using DPSS (diode pumped solid-states) UV laser and wet etching process. We suggest the process of the ablation of a photoresist (PR) coated on plastic mold steel and wet etching process using solutions of various concentrations of $FeCl_3$, $HNO_3$ in water as etchant. This method makes it possible to fabricate metallic roller mold because the microstructures are directly fabricated on the metal surface. In the range of operating conditions studied, $17;{mu}J$ laser pulse energy and 50 ms laser exposure time, an etchant containing 40wt% $FeCl_3$, 5wt% $HNO_3$ and etch time for 45 s gave the $10;{mu}m$ of micro dot pattern on plastic mold steel.