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진공여과증착법을 이용한 SWNT-PtOx계 마이크로 톨루엔 가스센서
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  • 진공여과증착법을 이용한 SWNT-PtOx계 마이크로 톨루엔 가스센서
저자명
김일진,전영집,최창규,이영욱,최시영,한창수,한상도,Kim. Il-Jin,Jeon. Young-Zip,Choi. Chang-Kyu,Lee. Young-Uk,Choi. Si-Young,Han. Chang-Soo,Han. Sang-Do
간행물명
센서학회지
권/호정보
2009년|18권 2호|pp.179-183 (5 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Toluene($C_6H_5CH_3$) gas sensors were fabricated using $PtO_x$ loaded with SWNTs by a new deposition method. The nanoparticle powders of SWNTs-$PtO_x$ composite were deposited on Si wafer substrates by a vacuum filtering deposition method. The fabricated sensors were tested against toluene gas which is a kind of the Volatile Organic Compounds. The composition ratio that exhibited the highest response to toluene gases was SWNTs : $PtO_x;=;99:1$ in wt% ratio at operating temperature of about $150^{circ}C$. The response and recovery times of the sensors were as short as less than 1 min., respectively.