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액체의 레이저 유기 절연파괴를 이용한 신개념 표면 세정 공정
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  • 액체의 레이저 유기 절연파괴를 이용한 신개념 표면 세정 공정
  • A novel surface cleaning process using laser-induced breakdown of liquid
저자명
장덕석,이종명,김동식,Jang. Deok-Suk,Lee. Jong-Myoung,Kim. Dong-Sik
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2009년|12권 4호|pp.17-25 (9 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The surface cleaning method based on the laser-induced breakdown (LIB) of gas and subsequent plasma and shock wave generation can remove small particles from solid surfaces. In the laser shock cleaning (LSC) process, a high-power laser pulse induces optical breakdown of the ambient gas above the solid surface covered with contaminant particles. The subsequently created shock wave followed by a high-speed flow stream detaches the particles. In this work, a novel surface cleaning process using laser-induced breakdown of liquid is introduced and demonstrated. LIB of a micro liquid jet increases the shock wave intensity and thus removes smaller particle than the conventional LSC method. Experiments demonstrate that the cleaning force and cleaning efficiency are also increased significantly by this method.