- 고출력 Nd:YAG UV레이저를 이용한 polyimide층과 Cu-metal층의 가공상태에 대한 실험적 고찰
- Experimental Investigation for Ablation Characteristics of Polyimide Layer and Cu-metal Layer using High Power Nd:YAG UV Laser
- ㆍ 저자명
- 최경진,이용현,Choi. Kyung-Jin,Lee. Young-Hyun
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|8권 4호|pp.31-36 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
