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갈륨이 첨가된 산화아연막의 코팅에 따른 미세팁 구조 탄소나노튜브의 전계방출 특성 및 장시간 안정성
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  • 갈륨이 첨가된 산화아연막의 코팅에 따른 미세팁 구조 탄소나노튜브의 전계방출 특성 및 장시간 안정성
  • Field-emission Properties and Long-term Stability of Tip-type Carbon Nanotubes Coated with Gallium-incorporated Zinc Oxide Films
저자명
김종필,노영록,조경철,이상렬,박진석,Kim. Jong-Pil,Noh. Young-Rok,Jo. Kyoung-Chul,Lee. Sang-Yeol,Park. Jin-Seok
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2009년|8권 4호|pp.65-69 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Carbon nanotubes (CNTs) were coated with undoped zinc oxide (ZnO) or 5 wt% gallium-incorporated ZnO (GZO) using various deposition conditions. The CNTs were directly grown on conical-type tungsten substrates at $700^{circ}C$ using inductively coupled plasma-chemical vapor deposition. The pulsed laser deposition technique was used to deposit the ZnO and GZO thin films with very low stress. Field-emission scanning electron microscopy and high-resolution transmission electron microscopy were used to monitor the variations in the morphology and microstructure of CNTs prior to and after ZnO or GZO coating. The formation of ZnO and GZO films on CNTs was confirmed using energy-dispersive x-ray spectroscopy. In comparison to the as-grown (uncoated) CNT emitter, the CNT emitter that was coated with a thin (10 nm) GZO film showed remarkably improved field emission characteristics, such as the emission current of $325;{mu}A$ at 1 kV and the threshold field of $1.96;V/{mu}m$ at $0.1;{mu}A$, and it also exhibited the highly stable operation of emission current up to 40 h.