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TRIZ를 활용한 클린룸용 저소음 및 저분진 케이블 이송 체인 시스템의 개발
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  • TRIZ를 활용한 클린룸용 저소음 및 저분진 케이블 이송 체인 시스템의 개발
  • The Development of Cable Carrier Chain System with Low Noise and Dust for Moving Stages in Cleanrooms using TRIZ
저자명
김두진,현동훈,김영일,Kim. Du-Jin,Hyun. Dong-Hoon,Kim. Young-Il
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2009년|8권 4호|pp.83-88 (6 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper TRIZ was used to solve noise and dust reduction related to cable carrier chain system. On modern machines in a clean room, the contradictions arose due to increase noise and dust for the high speed were eliminated with 40 principles and seperation rules. As the results, the sound pressure level of the new carrier chain system was reduced to below 40 dB(A), and cleanroom classifications was satisfied with ISO class 4. In these successful results, TRIZ showed its usefulness in solving the design problems even with severe constraints.