- TRIZ를 활용한 클린룸용 저소음 및 저분진 케이블 이송 체인 시스템의 개발
- The Development of Cable Carrier Chain System with Low Noise and Dust for Moving Stages in Cleanrooms using TRIZ
- ㆍ 저자명
- 김두진,현동훈,김영일,Kim. Du-Jin,Hyun. Dong-Hoon,Kim. Young-Il
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|8권 4호|pp.83-88 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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