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Properties of ZnO:Al films on polymer substrates by low temperature process
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  • Properties of ZnO:Al films on polymer substrates by low temperature process
  • Properties of ZnO:Al films on polymer substrates by low temperature process
저자명
Jung. Yu-Sup,Kim. Kyung-Hwan
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2009년|8권 3호|pp.57-60 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Transparent electrode ZnO:Al(AZO)films were deposited on a PES (polyethersulfone) polymer substrate for thin film solar cells applications. A PES substrate with a thickness of 0.2mm and transmittance > 90% in the visible range was used because it is light weight and can deform easily. AZO thin films were prepared at a fixed DC power, $PO_2;=;P(O_2)/[P(O_2);+;P(Ar)]$, and various substrate temperatures. The properties of AZO thin films were examined by X-ray diffraction, UV/VIS spectroscopy, four-point probe, Hall measurements, and field emission scanning electron microscopy. The lowest resistivity of all the films was $4.493;{ imes};10^{-4};[Omega-cm]$ and the transmittance was > 80% in the visible range.