기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
A Protective Layer on the Active Layer of Al-Zn-Sn-O Thin-Film Transistors for Transparent AMOLEDs
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • A Protective Layer on the Active Layer of Al-Zn-Sn-O Thin-Film Transistors for Transparent AMOLEDs
  • A Protective Layer on the Active Layer of Al-Zn-Sn-O Thin-Film Transistors for Transparent AMOLEDs
저자명
Cho. Doo-Hee,KoPark. Sang-Hee,Yang. Shin-Hyuk,Byun. Chun-Won,Cho. Kyoung-Ik,Ryu. Min-Ki,Chung. Sung-Mook,Cheong. Woo-Seok,Yoon.
간행물명
Journal of information display
권/호정보
2009년|10권 4호|pp.137-142 (6 pages)
발행정보
한국정보디스플레이학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Transparent top-gate Al-Zn-Sn-O (AZTO) thin-film transistors (TFTs) with an $Al_2O_3$ protective layer (PL) on an active layer were studied, and a transparent 2.5-inch QCIF+AMOLED (active-matrix organic light-emitting diode) display panel was fabricated using an AZTO TFT backplane. The AZTO active layers were deposited via RF magnetron sputtering at room temperature, and the PL was deposited via two different atomic-layer deposition (ALD) processes. The mobility and subthreshold slope were superior in the TFTs annealed in vacuum and with oxygen plasma PLs compared to the TFTs annealed in $O_2$ and with water vapor PLs, but the bias stability of the TFTs annealed in $O_2$ and with water vapor PLs was excellent.