[CoFe/Cu/CoFe]/IrMn 다층박막에 대하여 자유층 CoFe 두께에 따른 상호교환결합력, 교환결합세기, 보자력, 자기저항비, 자장감 응도 등의 자기저항 특성을 관찰하였다. IrMn 층을 통해 유도된 강자성체/비자성체/강자성체 구조인 CoFe(t)/Cu($25;{AA}$)/CoFe($60;{AA}$)/IrMn($80;{AA}$) 다층박막은 자유층 CoFe 두께 $30;{AA}$일 때 작은 보자력과 높은 자장감응도를 유지하는 연자성 특성을 보였다. 반면에 자유층 CoFe 두께 $90;{AA}$일 때 큰 보자력과 낮은 자장감응도를 보였다. 양호한 연자성 특성을 갖은 $2{ imes}8{mu}m^2$ 크기의 CoFe($30;{AA}$)/Cu($25;{AA}$)/CoFe($60;{AA}$)]/IrMn($80;{AA}$) 스핀밸브 소자를 제작하였다. 길이방향의 센싱전류와 폭방향의 고정층의 용이축 방향을 택하여 2 단자법으로 측정한 소자의 연자성 자기저항 특성인 자기저항비와 자장감응도는 각각 3.0%와 0.3%/Oe 이었다.
Interlayer coupling field, coercivity, magnetoresitance ratio, and magnetic sensitivity depending on the thickness of free CoFe layer for the CoFe/Cu/CoFe/IrMn multilayer are investigated. In case of CoFe layer of $30;{AA}$ thickness for the CoFe(t)/Cu($25;{AA}$)/CoFe($60;{AA}$)/IrMn($80;{AA}$) multilayer with ferromagnet/non-magnet/ferromagnet structure induced by IrMn layer, the lowest coercivity and the highest magnetic sensitivity, which is contained soft magnetic property, are observed. On the other side, in case of CoFe layer of $90;{AA}$ thickness, there are the highest coercivity and the lowest magnetic sensitivity. The fabricated CoFe($30;{AA}$)/Cu($25;{AA}$)/CoFe($60;{AA}$)]/IrMn($80;{AA}$) spin valve device with $2{ imes}8{mu}m^2$ patterning size are measured by two probe method, which is selected the sensing current as the longitudinal direction and the easy axis as the transversal direction. The measuring magntoresistance ratio and magnetic sensitivity of GMR-SV device having the soft magnetic property are 3.0% and 0.3%/Oe, respectively.
